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发布时间:2022-06-08 18:04:59
在实际工作中以上这几个要点很难个个具备都能达到理想状态
在实际工作中以上这几个要点很难个个具备都能达到理想状态,但是作为一个的扫描电镜应用人员来说,应从多方面入手,综合考虑,如选好电镜的安装环境,尽自己的职责维护好设备和制备好试样,这都是操作人员应该做到的事。电镜参数的合理选择和熟练操作,是操作人员经过努力学习、不断积累经验而应能实现的目标。至于扫描电镜的型号和某些参数的优劣,这超出操作人员的能力范围,只要操作人员能发挥出现有电镜大的潜能,一般都能得到比较好的成像效果。当然,如果能有一台高亮度、高分辨的扫描电镜,那将会更理想。
影响扫描电镜的分辨本领的主要因素
影响扫描电镜的分辨本领的主要因素有:
A. 入射电子束束斑直径:为扫描电镜分辨本领的极限。一般,热阴极电子的很小束斑直径可缩小到6nm,场发射电子可使束斑直径小于3nm。
B. 入射电子束在样品中的扩展效应:扩散程度取决于入射束电子能量和样品原子序数的高低。入射束能量越高,样品原子序数越小,则电子束作用体积越大,产生信号的区域随电子束的扩散而变大,从而降低了分辨率。
C. 成像方式及所用的调制信号:当以二次电子为调制信号时,由于其能量低(小于50 eV),平均自由程短(10~100 nm左右),只有在表层50~100 nm的深度范围内的二次电子才能逸出样品表面, 发生散射次数很有限,基本未向侧向扩展,因此,二次电子像分辨率约等于束斑直径。
未来需求超过台式扫描电镜性能的担忧
扫描电镜使用是否是经常性的且需求明确的?如果是这样,台式扫描电镜可以就提供所需的信息,为什么要花费更多?关于未来需求超过台式扫描电镜性能的担忧,应该根据潜在需求的确定性和时机,以及对更高要求应用的外部资源可用性来评估。即使未来需求超过台式扫描电镜能力,台式扫描电镜的初始***也可以继续提供回报,因为该系统可用于补充未来的落地式扫描电镜系统,如筛选样品或继续执行日常分析,落地式扫描电镜应用于要求更高的应用。
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