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高分辨率台式扫描电镜是一种大型精密仪器

　高分辨率台式扫描电镜由三大部分组成：真空系统，电子束系统以及成像系统，是一种大型精密仪器，它是机械学、光学、电子学、热学、材料学、真空技术等多门学科的综合应用。

　　真空系统主要包括真空泵和真空柱两部分。真空柱是一个密封的柱形容器，真空泵用来在真空柱内产生真空，有机械泵、油扩散泵以及涡轮分子泵三大类，机械泵加油扩散泵的组合可以满足真空要求，需要机械泵加涡轮分子泵的组合。成像系统和电子束系统均内置在真空柱中，真空柱底端即为右图所示的密封室，用于放置样品。

　　之所以要用真空，主要基于以下两点原因：电子束系统中的灯丝在普通大气中会迅速氧化而失效，所以除了在使用SEM时需要用真空以外，平时还需要以纯氮气或惰性气体充满整个真空柱。为了增大电子的平均自由程，从而使得用于成像的电子更多。热发射电子需要电磁透镜来成束，所以在用热发射电子枪的SEM上，电磁透镜*。

扫描电镜的功能

扫描电镜的功能 桌面扫描电镜除了全自动功能以外，还提供给更加的用户所有手动调节功能，几乎具备大型机所有的调节功能，从而获得更加的图像品质。桌面扫描电镜在充分了解用户的使用需求基础上，集成了当前市场上所有小型台式机的优越性，克服用户感到烦恼的缺点，使得扫描电镜是人机操作工程的产品。 桌面扫描电镜具备样品表面微观形貌观测和表面元素成分点、线、面分析，将电镜和能谱在生产环节集成在一台设备中，后期通过一个软件平台控制操作，用户只需要熟悉一个软件就能同时操控两项功能，也变得相对简单快速。桌面扫描电镜是扫描电镜能谱行业的一个里程碑，电镜能谱一体机提供****高的台式扫描电镜分辨率，同时也使得表面元素分析更加准确快速。 桌面扫描电镜具有系列全自动操作、15秒快速抽真空、不喷金观看绝缘体、2-3年更换灯丝等特点，无需防震环境，可放置在任意楼层，能谱无外接部件，无需液氮冷却。

扫描电镜基本操作

需要熟悉的扫描电镜基本操作

基本操作包括熟练的调节对焦和消像散。对焦相对容易，改变焦距，直至图像清楚的时刻即为合焦。在偏离焦距较多的时候可以用较高的灵敏度，在合焦点附近调低灵敏度，以便进行准确对焦。

基本操作中消像散相对来说比较麻烦，特别是像散很大时，对于很多初学者来说调节比较困难。不过前面已经介绍了像散的产生，电子束由于不再是圆形，所以在像散未消除的情况下，图像是不清晰的。不过其中有两个特殊的位置，即光学中的子午和弧矢，在这两个位置上束斑完全成正交的直线。而明晰圆一般在弧矢和子午的中间。

有关拉伸方向的判断并不困难，试样中的各种特征点都可以作为判断依据，尤其在像散比较大时，不要焦距和像散的两个维度乱调一气，以免像散过大而完全无从判断。

扫描电镜的操作指导与维护***

　一、每种检测物品由于特性不同，这个时候使得检测时间以及检测方法都存在较大的差异，大家必须掌握好每种材料或是产品的检测方法以及正确测量时间，缩小误差范围。

　　第二、在进行检测的过程当中，千万不要让相关尖锐等硬物质触碰到镜头，尤其是在移动检测过程当中，如果扫描电镜报警的话，说明了移动方向已经达到了。

　　第三、扫描电镜的使用，环境因素很重要，通常室内当中的温度保持在20-30度这个范围，而湿度方面在百分之七十以下，并且在操作之前，需要将仪器设备以及工作台面进行有效的清洁。